氮化硅陶瓷的烧结方式
烧结方法 | 制备原理 | 优点 | 缺点 |
反应烧结 | 把Si粉或Si粉与Si3N4粉的混合物成型后进行预氮化,再在1400℃左右完全氮化 | 烧结无收缩,使用于制造形状复杂,尺寸精确的零件,成本低,不需要添加剂 | 氮化时间较长 |
热压烧结 | 对氮化硅粉末和烧结助剂在高温下单向加压烧结 | 所得陶瓷与反应烧结相比,强度高,密度大,致密度高,制造周期短。 | |
常压烧结 | 高纯氮化硅粉末与少量烧结助剂混合,通过烧结、成型等工序制备 | 可获得形状复杂,性能优良的陶瓷 | 烧结收缩率较大,一般为16-26%,制品易开裂变形 |
气压烧结 | Si3N4压坯在5-12Mpa的氮气在1800-2100℃下进行烧结 | 所得陶瓷致密度高,高韧性,高强度,可制备形状复杂的制品,适合大规模生产 | 烧结温度高 |
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